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传台积电今年将购入18台EUV光刻机
来源：
ofweek
2019-02-12
类别：业界动态
137
拍明
原标题：传台积电今年将购入18台EUV光刻机
2月12日消息，台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，加上之前采购的几台，台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产，推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9%提升到25%。
目前，ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE： 3400B报价约1.2亿美元(约合8亿人民币)，也就是说台积电订购的这18台EUV光刻机总价接近150亿元。
此外，台积电还计划在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产，值得注意的是，5nm必须采用EUV工艺才能够实现。
责任编辑：HanFeng
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